邯郸半导体大宗电子气体现场制气成套技术及应用研发

邯郸半导体大宗电子气体现场制气成套技术及应用研发项目主要攻克电子气体污染控制、大流量不间断稳定输送技术、腐蚀性/毒性/易燃性/窒息性电子气体的侦测与防护技术、特种电子气体体系化现场管理与控制技术等，实现集成电路制造用氮气、氢气、氧气、氦气、二氧化碳、压缩空气等大宗气体现场制备、纯化、监测及稳定输送，完成首台套应用，从技术上实现我国该项集成系统的进口替代，打破目前现场制气被国际四大气体公司垄断的局面。